Єфанов О. М. Динамічна дифракція Х-променів в багатошарових структурах

У роботі проведено комплексні дослідження механізмів дифракції Х-променів у багатошарових структурах. Розроблено метод обрахунку багато-хвильової дифракції у планарних багатошарових структурах та показано його практичне застосування для інтерпретації експериментальних даних. Метод базується на розв'язку рівнянь Максвелла для плоских Х-хвиль без спрощень і може бути застосованим для довільної геометрії дифракції (відбиття чи проходження) та довільного кутового діапазону. Наведено приклади застосування методу для аналізу експериментальних кривих дифракційного відбиття (КДВ), кривих дзеркального відбиття, ренінгерівського сканування та карт оберненого простору. Розв'язано дисперсійне рівняння для 2-х, 3-х, 4-х та N-хвильової дифракції та побудовано дисперсійні поверхні для цих випадків. При розв'язку враховано ефект поглинання та різні геометрії дифракції. Вказано на причини та шляхи уникнення проблем чисельних розрахунків у випадку багатохвильової дифракції. Проаналізовано вплив на КДВ градієнту складу на межі шарів. Показано, що найбільш адекватно криві відбиття для зразків, що досліджувались, описуються гіперболічним законом градієнта на границі шарів InGaAs/GaAs. Застосовано методи автофітування для аналізу КДВ. Запропоновано методику контролю структури шарів шляхом вимірюваннях азимутальних залежностей КДВ, що дозволяє визначити параметри анізотропної деформації кристалічної ґратки.