Слободян М. В. Вплив тривимірного впорядкування та деформацій на дифракцію Х-променів в реальних багатошарових структурах

Дисертація присвячена дослідженню структури та основних фізичних властивостей багатошарових структур (БШС) InGaAs/GaAs з квантовими точками (КТ), в залежності від умов росту та зовнішніх впливів методами високороздільної Х-променевої дифрактометрії. В роботі проведено адаптацію методу картографування оберненого простору на-вколо вузлів оберненої гратки для вирішення оберненої задачі визначення складу і пружної деформації в системах з впорядкованим масивом квантових точок. Вперше було встановлено і пояснено природу зміни періоду багатошарової структури після швидкого термічного відпалу (ШТВ), яка обумовлена впливом макрокривизни на зсуви положень піків сателітної структури когерентної надгратки (НГ). Встановлена природа чутливості кривих дифракційного відбиття (КДВ) до макрозгину багатошарової системи, яка полягає в зміщенні сателітів із своїх положень в залежності від кута Брегга. Встановлено і дано пояснення ефекту розщеплення когерентних сателітів і нахи-лу латеральних сателітів на дифракційних картинах від БШС з КТ, яке полягає в прямому і похилому наслідуванні КТ та квантових ниток (КН) при рості структур. Вперше запропонова-на методика реконструкції просторової гратки квантових точок з експериментальних карт розподілу інтенсивності в оберненому просторі. За допомогою Х-променевих дифракційних досліджень виявлені особливості самонаправленого впорядкування структур із КН при застосуванні в технологічному процесі росту потоків миш'яку різного молекулярного складу. Відмінності в фізичних механізмах вбудовування адатомів із потоків As2 та As4 визначають суттєві відмінності в процесах поверхневої дифузії та формуванні полів пружних деформацій в епітаксійних структурах. Досліджено вплив швидкого термічного відпалу на структурну перебудову масивів КТ в багатошарових структурах InGaAs/GaAs. В результаті проведених досліджень була встановлена область температурної стабільності структурних характеристик БШС і побудована модель температурних трансформацій в структурах. Дано пояснення природі 2D-3D структурних переходів.