Воробець М. М. Вплив фінішної хімічної обробки на формування і властивості поруватого кремнію та телуриду кадмію

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0411U006761

Здобувач

Спеціальність

  • 02.00.04 - Фізична хімія

21-10-2011

Спеціалізована вчена рада

K76.051.10

Анотація

Досліджено вплив способів фінішної хімічної обробки Si-поверхні на процес анодного формування поруватого кремнію і його властивості. Показано, що обробка в розчині NH4OH:H2O2:H2O призводить до формування шару мікро- чи мезопоруватого кремнію, а в розчині HNO3:H2O2:H2O чи HCl:H2O2:H2O - макропоруватого кремнію. Виявлено можливість формування поруватого кремнію у паровій фазі HF:C2H5OH:H2O, запропоновано спосіб формування поверхнево пасивованого поруватого кремнію. Вперше створено поруватий CdTe методом анодного розчинення кристалів CdTe в HNO3:HF:H2O чи HNO3:HCl:H2O, досліджено електронні й оптичні властивості сформованих поруватих шарів.

Файли

Схожі дисертації