Пільгун Ю. В. Фізичні особливості формування інформаційного сигналу в лазерній диференційно-фазовій скануючій мікроскопії

Робота присвячена проблемі інтерпретації вимірів, отриманих диференційно-фазовим методом, при поточковому скануванні відбиваючих та прозорих об'єктів. Аналізуються фізичні процеси, що відбуваються у вимірювальній системі під час проведення вимірів, та їх вплив на формування інформаційного сигналу в диференційно-фазовому методі. Визначено умови, за яких зв'язок між вимірюваними даними та фазовим профілем об'єкта можна вважати лінійним. Запропоновано розв'язок оберненої задачі відновлення фазового профілю об'єкта за вимірами фази сигналу різницевої частоти в лінійному наближенні. Розглянуто ряд випадків, для яких зв'язок між вимірюваною фазою та фазовим профілем об'єкта не можна вважати лінійним. Для випадку дослідження лінз запропоновано вдосконалення методу, що дозволяє коректно визначати їх оптичну силу незважаючи на неточне позиціонування об'єкта у фокусі вимірювальної системи. Досліджено можливість використання вимірів на двох довжинах хвиль світла для усунення неоднозначності вимірів фази.