Піскун Н. В. Вплив умов електронно-променевої зонної плавки на властивості монокристалів кремнію.

Дисертаційна робота присвячена дослідженню властивостей монокристалів кремнію, одержаних методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки із застосуванням різних технологічних заходів для потреб мікроелектроніки. Розрахунковим методом і експериментально показано, що рафінування монокристалів кремнію в процесі електронно-променевої безтигельної зонної плавки забезпечується процесами перекристалізації і випаровування та дегазації у вакуум. Встановлено, що для підвищення вакуумної чистоти плавильної камери і вакуумної системи її відкачку необхідно проводити одночасно з промивкою гелієм. Показано, що електронно-променева плавка монокристалів кремнію з перемішуванням розплаву в зоні і з застосуванням теплозахисного екрану дозволяє знизити щільність дислокацій і рівень напруженого стану в вирощуваних кристалах, що підвищує їх електрофізичні характеристики. Встановлено, що поєднання електронно-променевої безтигельної зонної плавки із процесом електропереносу сприяє додатковому очищенню монокристалів кремнію від домішок. Показано, що при пропусканні електричного струму через зразок в процесі плавки формується впорядкована кристалічна решітка, яка сприяє зниженню рівня внутрішніх напружень і забезпечує підвищення питомого електроопору. Зміцнення монокристалів кремнію азотом, шляхом легування їх в процесі плавки, сприяє підвищенню механічних характеристик і поліпшенню їх електрофізичних властивостей.