Чухненко П. С. Взаємодія нелегованого та легованого CdTe із травильними композиціями (NH4)2Cr2O7-HHal-органічна кислота

Дисертаційна робота присвячена дослідженню взаємодії нелегованого та легованого CdTe з водними розчинами (NH4)2Cr2O7 - HHal - органічна кислота. За результатами експериментальних досліджень з використанням математичного моделювання на симплексі побудовано 20 діаграм "склад травника - швидкість травлення" для монокристалів CdTe, CdTe(Ge), CdTe(Sn), CdTe(Pb) та визначено межі існування областей поліруючих і неполіруючих розчинів. Досліджено кінетичні закономірності та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення нелегованого та легованого CdTe, виявлено вплив легування на швидкість травлення та межі областей поліруючих розчинів. Показано, що при заміні НBr на HCl у складі травильних композицій (NH4)2Cr2O7 - НHal- органічна кислота підвищується швидкість розчинення досліджуваних кристалів (до 9 мкм/хв) і має місце перехід від селективного і неполіруючого характеру травлення до поліруючого. Із аналізу температурних залежностей швидкостей розчинення встановлено існування компенсаційної залежності при хімічному розчиненні нелегованого та легованого CdTe у розчинах систем (NH4)2Cr2O7 - НHal - органічна кислота. Виявлено залежність між складом травильної композиції, рН розчину та станом поверхні кристалів після ХДП. Наведено склади поліруючих розчинів, придатних для ХМП поверхні нелегованого та легованого CdTe з використанням як модифікатора в'язкості етиленгліколю та лактатної кислоти. Показано, що після травлення кристалів у розчинах (NH4)2Cr2O7 - НHal- органічна кислота на поверхні зберігається стехіометрія поверхневих шарів і нанорозмірний мікрорельєф. На основі отриманих експериментальних результатів оптимізовано склади травильних композицій і розроблено режими та способи модифікації і підготовки полірованих поверхонь CdTe, CdTe(Ge), CdTe(Sn) та CdTe(Pb).