Бабій Н. В. Моделі процесів дифузійного перенесення і методи оцінювання технологічних параметрів в багатошарових наноплівках

Об'єкт - процеси дифузійного перенесення в багатошарових наноплівках. Мета - побудова та вдосконалення математичних моделей процесів дифузійного перенесення, розроблення методів достовірного визначення концентраційних розподілів дифундованих компонентів. Методи - інтегральних перетворень, теорія крайових задач. Новизна - модифіковано математичні моделі дифузійного перенесення в багатошарових наноплівках у плоскій і циліндричній постановках; розроблено моделі дифузійного перенесення в багатошарових (Fe/Dy)-, (Fe/Tb)-магнітних та оксидних наноплівках. Результати впроваджено в НДР (ДР №0111U002585); ПМП "ІІТ", ВАТ "Квантор"