Чаплинський Р. Ю. Джерела нетермічної плазми атмосферного тиску та їх застосування

У дисертації розглянуті газорозрядні джерела ННП атмосферного тиску та їх застосування для генерації озону, нейтралізації чадного газу, в технології виробництва рідкокристалічних дисплеїв і для наносферної літографії. Показано, що ННП атмосферного тиску бажано отримувати в джерелах з трьохелектродною системою на основі бар'єрного ВЧ розряду. Теоретично встановлено, що приелектродні шари просторового заряду в слабкострумовому режимі аргонового БВЧ розряду атмосферного тиску товщі, ніж у аргоновому ВЧ розряді з голими металевими електродами. Експериментально та теоретично встановлено, що в перехідному режимі БВЧ розряду атмосферного тиску в аргоні локально співіснують структури характерні як слабкострумовому, так і сильнострумовому режиму розряду. В ширшому діапазоні струмів та напруг виміряні принципові електричні характеристики бар’єрного ВЧ розряду. Експериментально встановлено, що обробка плоским плазмовим потоком аргонового БВЧ розряду при атмосферному тиску наводить орієнтацію нематичних рідких кристалів та реактивного мезогену на поліімідних плівках, та зменшує розміри поліпропіленових наносфер для наносферної літографії. В результаті роботи розроблено алгоритм розрахунку електричних характеристик аргонового бар’єрного ВЧ розряду, джерела нетермічної нерівноважної плазми при атмосферному тиску на основі трьохелектродного бар’єрного ВЧ розряду, багатокоронного та низькочастотних компланарного та об’ємного бар’єрного розряду.