Насєка В. М. Структурно-фазові перетворення в кремнії "сонячної" якості та кремній-оксидних плівках

Дисертація присвячена дослідженню впливу різних режимів термообробки на рекомбінаційні характеристики низькосортного кристалічного кремнію за наявності гетеруючих та пасивуючих покриттів з метою його перетворення на матеріал «сонячної» якості. Встановлено, що для зразків кремнію вирощених методом Чохральского, кінетика видалення атомів Fe не може бути описано лише дифузією по міжвузлях. Розроблено теоретичну модель кінетики гетерування рекомбінаційно-активної домішки Fe за наявності її преципітатів, яка підтверджена даними мас спектроскопії та рентгенівськими дослідженнями. Дисертаційна робота містить фотолюмінісцентні та коливні дані пасивуючих плівок нестехіометричного оксинітриду кремнію, отриманими методом PECVD із суміші газів SiH4 та N2O. Методом ІЧ-спектроскопії досліджено кінетику ефузії (вивільнення) водню з плівок SiOxNy, спричинену ізотермічними відпалами. Запропоновано модель розподілу енергії активації його дифузії.