Зайцева Л. В. Плівкові гетеросистеми ємнісних перетворювачів на основі полііміду, оксидів індію, олова та алюмінію

Розроблено та апробовано дослідні зразки тонкоплівкових ємнісних перетворювачів на основі гетеросистеми Al/ITO/поліімід/Al2O3 для проведення ємнісного акустичного контролю у металевих виробах у режимах одночасного прийому і генерації акустичного сигналу ємнісними перетворювачами та в окремих режимах генерації або прийому акустичного сигналу, які дають можливість реалізувати контроль об'єктів з чутливістю на рівні п'єзоелектричних перетворювачів. Розроблено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для проведення контролю трубопроводів довгохвильовим ємнісним методом, що дає змогу збільшити максимальну відстань між ємнісними перетворювачами при контролі до 10 метрів. Створені тонкоплівкові ємнісні перетворювачі, які дають змогу за рахунок використання поліімідної плівки товщиною 15 мкм та плівки оксиду алюмінію товщиною 1 мкм збільшити чутливість методу у 7-8 разів. Показано, що використання технології магнетронного розпилення, котра забезпечує високу адгезію шарів до поліімідної підкладки, дає змогу одержувати ємнісні перетворювачі для виробів різноманітної форми.