Куровець В. В. Кристалічна та магнітна мікроструктури епітаксійних плівок ферит-гранатів, імплантованих іонами гелію.

В дисертаційній роботі, проведено дослідження кристалічної та магнітної мікроструктур епітаксійних плівок ферит-гранатів, імплантованих іонами гелію з енергією 100 кеВ у межах доз 1?1015-1?1016 см-2.Використовуючи математичне моделювання процесу радіаційного дефектоутворення, проаналізована можливість утворення радіаційно-розупорядкованих ділянок та встановлено їх основні характеристики. Вперше теоретично обґрунтовано, що при імплантації іонами гелію з енергією 100 кеВ ферит-граната ітрію у приповерхневій зоні ? 200 нм ефективність дефектоутворення внаслідок збуджень електронної підсистеми мішені співмірна з ефективністю дефектоутворення при ядерному гальмуванні. Встановлено, що в іонно-імплантованих приповерхневих шарах плівок ферит-гранатів основними типами радіаційних дефектів є дислокаційні петлі (середній радіус 2-5 нм), розупорядковані ділянки у формі еліпсоїда з максимальним лінійним розміром 10 нм та точкові дефекти з ефективним радіусом 0,11 нм. На залежності величини мікротвердості приповерхневого шару плівок ферит-гранатів від дози опромінення спостерігається мінімум при дозі 2·1015 см-2. Залежність максимальної відносної деформації плівок ЗІГ від їх товщини характеризується максимумом при товщинах плівок 3 мкм, що пов'язано з різним ступенем вкладу ростових дефектів та механічних напруг у процеси радіаційного дефектоутворення при різних товщинах плівок.За результатами дослідження змін при іонній імплантації в приповерхневих шарах плівок La,Ga:ЗІГ встановлено, що профілі відносної деформації, в порівнянні з відповідними профілями незаміщених ЗІГ, зміщені в глибину, відбувається зростання інтенсивності дефектоутворення та зниження величини мікротвердості, що пов'язане із меншим ступенем ковалентності хімічних зв'язків.