Русавський А. В. Структурні, оптичні та механічні властивості тонких плівок a-Si1-xCx(:H) отриманих методом магнетронного розпилення

Дисертаційна робота присвячена вирішенню наукової задачі по виявленню механізмів формування аморфних кремній-вуглецевих плівок, отриманих методами магнетронного осадження, впливу физико-технологических умов синтезу і подальших термічних обробок на структуру ближнього порядку, оптичні і механічні властивості матеріалу. Запропоновано і відпрацьовано оригінальний метод осадження тонких плівок a-SiC(:H) методом ВЧ-магнетронного розпилення мішені кристалічного карбіду кремнію (SiC-6H) з площею, що обмежена тільки розміром катодного вузла магнетрона. Детально досліджено вплив низькотемпературного відпалу (4500С) в інертному і окиснюючому середовищі на структурну перебудову і фотолюмінесцентні властивості плівок a-Si(1-x)C(x):H із стехіометричним складом (x=0,5) та з надлишком вуглецю (x=0,7). Встановлено, що основним ефектом низькотемпературної термічної обробки а-SiC:H тонких плівок в окиснюючому середовищі є значне посилення фотолюмінесценції білого кольору. Запропоновано і відпрацьовано метод синтезу світловипромінюючих плівок a-SiO(x)C(y):Tb:H за допомогою низькотемпературного окиснення збагачених вуглецем плівок a-Si(1-x)C(x):Tb:H, осаджених методом реактивного магнетронного розпилення. Досліджено механізми окиснення аморфних кремній-вуглецевих плівок в парах води і в середовищі сухого кисню.