Сердюк І. В. Структура і фізико-механічні властивості вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі високоентропійних сплавів Ti-V-Zr-Nb-Hf та Ti-V-Zr-Nb-Hf-Ta

Дисертація присвячена створенню багатокомпонентних покриттів на основі високоентропійних сплавів. У роботі вакуумно-дуговим методом були одержані нітридні покриття на основі багатокомпонентних сплавів Ti-V-Zr-Nb-Hf та Ti-V-Zr-Nb-Hf-Ta при різних технологічних режимах осадження. Вивчено вплив режимів осадження покриттів на їх фізико-механічні характеристики, досліджені морфологія поверхні, фазовий і елементний склади, термостійкість, адгезія і зносостійкість покриттів. При малому потенціалі зміщення на підкладці (до - 100 В) кристалічна структура формується без переважної орієнтації або з переважною орієнтацією [111], а при більш високому потенціалі -200 В відбувається формування бітекстурного стану: [111] + [110] у разі п'ятиелементного сплаву і [111] + [311] у разі шестиелементного сплаву. Відпал нітридного покриття на основі високоентропійного сплаву Ti-V-Zr-Nb-Hf до температури 1373 К протягом 10 годин не змінює його фазового стану, при цьому твердість залишається високою. Встановлено, що багатокомпонентні покриття з низьким абразивним зносом характеризуються розміром ОКР 12-25 нм, відсутністю або низьким рівнем досконалості текстури [111], а також наявністю досить високої мікродеформації в кристалітах. Виробничі випробування високоточного інструменту зі складною геометрією поверхні з покриттями на основі високоентропійних сплавів показали збільшення стійкості інструменту при виготовленні деталей з важкооброблюваних сталей до 5-7 разів.