Романенко О. В. Формування iонного мiкропучка для дослiдження радiацiйно-стимульованої мiграцiї домiшок у твердому тiлi

Удосконалено iнтегральний метод визначення розподiлу яскравостi пучка на входi в зондоформуючу систему, що дозволяє визначити параметри розподiлу i розрахувати привiсьову яскравiсть макропучка. Розроблено новий пiдхiд щодо фокусування пучка іонів у режимi великих струмiв з рiвномiрним розподiлом густини струму в площинi мiшенi. Експериментально доведена адекватнiсть розробленого пiдходу за допомогою порiвняння теоретичних і експериментальних профiлiв виходу вторинної електронної емiсiї, отриманими за рахунок сканування пучком іонів мішені ножового типу. Встановлено, що густина струму пучка іонів для зондоформуючих систем на базi триплету i розподiленого «росiйського квадруплету» магнітних квадрупольних лінз має вираженi максимуми, величина котрих залежить вiд робочої вiдстанi i розмiрiв зонду, тодi як для зондоформуючої системи на базi дублету магнітних квадрупольних лінз величина максимуму обмежується радiусом iонопроводу на дiлянцi магнітних квадрупольних лінз. Вперше розроблено пiдхiд, що дозволяє зберiгати розмiри сфокусованого магнітними квадрупольними лінзами iонного зонду при змiнi енергiї пучка без змiщення опромiнюваного зразка.