Нікірін В. А. Процеси іонної модифікації та синтезу термохромних плівок оксиду ванадію та вольфраму.

В роботі представлено результати досліджень процесів, які відбуваються при магнетронному синтезі плівок оксиду ванадію. Визначено фізичні механізми та технологічні умови, які забезпечують утворення певних окисних фаз ванадію. Встановлені фактори, які впливають на величину термохромного ефекту в плівках та їх провідність. Запропоновано новий метод двостадійного синтезу плівок, який дозволяє створювати плівки з різними функціональними властивостями. Тільки аморфні плівки VOx (1,8 < х< 2,2) з поодинокими нанокристалічними включеннями є придатними для контрольованої кристалізації і модифікації кристалів при подальшому низькотемпературному відпалі. Запропоновано модель, яка описує процеси фазових і структурних перетворень у плівках на різних етапах їх формування. Використовуючи оригінальний метод вдалось синтезувати два типи плівок окису ванадію з високими функціональними параметрами: 1) потужним термохромним ефектом (зміна оптичного пропускання в 50 разів) і 2) високим (7%) температурним коефіцієнтом опору. Також проведено дослідження структури та електрохромних параметрів плівок WO3 і NiO. На основі цих плівок створено діючу електрохромну систему, встановлені причини її деградації. Для модифікації плівок використовувались іонна імплантація та відпали у різних середовищах, що дозволило цілеспрямовано змінювати компонентний склад і оптимізувати технологію створення матеріалів. Показано, що використання іонних рідин у якості електролітів електрохромних пристроїв є перспективним, оскільки це суттєво збільшує термін роботи системи.