Нємченко У. С. Закономірності формування вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі високоентропійних сплавів

Досліджено закономірності формування фазового складу, структурного стану, механічних і триботехнічних властивостей нітридних багатокомпонентних покриттів на основі (TiZrNbMe)N, де Me: Cr, Si, Al, Y, Hf, V, Ta, які одержані методом вакуумно-дугового розпилення цільнолитих багатoелементних високоентропійних мішеней. Наявність у високоентропійному сплаві сильних нітридних складових елементів у залежності від фізико-технологічних параметрів осадження приводить до формування покриттів, структурний стан яких формується як із ГЦК, так із ГЦК і ОЦК фаз. З'ясовано, що дифракційні спектри покриттів, які одержані при найбільшому тиску азоту 0,665Па (TiZrNbAlCrY)N, у якому легуючим елементом введено Сr (атомний радіус складає 0,125нм) у порівнянні з покриттями (TiZrNbAlY)N містить виражені 2 системи дифракційних піків від ОЦК фази і ГЦК фази з періодом 0,437нм та 0,453нм і середнім розміром кристалітів 7нм. Для покриттів (TiZrNbCr) N і (TiZrNbCrSi) N, незважаючи на велику кількість складових металевих компонентів і різної їх спроможності до утворення нітритів, в покриттях формується однофазний стан на основі на ГЦК решітки, який у випадку нітридів має структурний типу NaCl. Величина періоду решітки в напрямку росту кристалів складає 0,433нм для покриттів (TiZrNbCrSi) N і 0,441нм для покриттів (TiZrNbCr) N.