Якущенко І. В. Структурні характеристики та фізико-механічні властивості багатокомпонентних нітридних покриттів до і після іонної імплантації

Дисертаційна робота присвячена дослідженню впливу імплантації негативних іонів Au– на фазовий склад, структурно-напружений і дефектний стани, механічні й трибологічні властивості п'яти- та шестиелементних нітридних покриттів (TiZrAlYNb)Nx і (TiZrHfVNbTa)Nx та вплив на них умов осадження (тиску робочого газу і потенціалу зсуву підкладки). Результати дослідження елементного, фазового і напружено-деформованого станів покриттів свідчать про те, що в покриттях відбувається формування двох основних кристалічних фаз – ГЦК і ОЦК залежно від тиску робочого газу. Фазовий стан змінюється від аморфного до нанокристалічного, а покриття зазнають напруження стиску. Іонна імплантація однозарядними негативними іонами золота Au- призводить до таких наслідків. Поверхневий шар покриття сильно розупорядкований, із підвищеною часткою ОЦК-фази. Дослідження механічних та трибологічних властивостей покриттів показали, що відбувається зростання твердості покриттів в імплантованому шарі (до величини 39,05 ГПа), а також індекс в’язкопластичності збільшується до 0,123. Спостерігаються збільшення зносостійкості покриттів (у 2,5 рази) і зменшення коефіцієнта тертя, що приводить до покращання фізико-механічних властивостей покриттів (TiZrAlYNb)Nx і (TiZrHfVNbTa)Nx. Ключові слова: вакуумно-дугове осадження, високоентропійні сплави, іонна імплантація, негативні іони, мікроструктура, точкові дефекти.