Конотопський Л. Є. Особливості росту, структура та оптичні властивості багатошарових рентгенівських дзеркал на основі Mg та Mg2Si

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0418U002802

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

02-07-2018

Спеціалізована вчена рада

Д 64.245.01

Інститут електрофізики і радіаційних технологій НАН України

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню особливостей формування, недосконалостей будови і структурно-фазових перетворень у багатошарових рентгенівських дзеркалах (БРД) Zr/Mg, ZrC/Mg, Si/Mg2Si, W/Mg2Si, виготовлених методом магнетронного розпилення при постійному струмі. За результатами аналізу картини когерентного розсіювання показано, що у БРД Zr/Mg шари Mg при товщині меншій 5.2 нм знаходяться на острівковій стадії росту. БРД Zr/Mg на кремнієвій підкладці зберігають свою структуру у вихідному стані до 450 °С. Подальший нагрів дзеркала призводить до його руйнування в результаті взаємодії Mg і Zr з кремнієвою підкладкою. Важливою особливістю БРД Si/Mg2Si є зростання шарів силіциду магнію в аморфному стані з кристалічними включеннями Mg2Si в метастабільній гексагональній модифікації. Відпал БРД Si/Mg2Si супроводжується зменшенням періоду дзеркала на 3.5 % в результаті кристалізації силіциду магнію в більш щільній гексагональній модифікації.

Файли

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів