Орлов А. К. Дифузійне фазоутворення та властивості нанорозмірних плівкових матеріалів V/Ag, Fe/Pt/Au, Ni/Cu/Cr, Ni/Cu/V

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.16.01 – металознавство та термічна обробка металів. – Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», МОН України, Київ, 2019. Дисертаційна робота присвячена встановленню закономірностей дифузійного фазоутворення в нанотовщинних шаруватих плівкових композиціях з ОЦК, ГЦК та ГЦТ гратками при термічній та йонній обробках. Застосовано ряд нових методичних підходів до структурного аналізу із використанням синхротронного випромінювання та плазмонної спектроскопії. Показано, що під впливом фактору нанорозмірності при термічних (623-923 К) і йонних (1016-1017 йон/см2) впливах формуються нетипові для масивного стану структури: тверді розчини заміщення та пересичені тверді розчини проникнення домішок, структурні складові із взаємно нерозчинних у масивному стані елементів, дрібнодисперсні структури тощо. Регулюючий вплив складу атмосфери термічної обробки і додаткових проміжних шарів проявляється у блокуванні, уповільненні, прискоренні дифузійного фазоутворення або стабілізації бажаних фаз. Підтверджено багатостадійну модель, що включає в себе розподілені в часі різні домінуючі механізми дифузійного фазоутворення. Доведено можливість отримання нових властивостей, переспективних для технологій мікро- і наноприладобудування. Ключові слова: фактор нанорозмірності, плівкові матеріали, дифузія, структура, кристалічна гратка, фазоутворення, синхротронне випромінювання, термічна обробка, йонна обробка, міграція границь зерен.