Сергеев В. Н. Динамическое рассеивание рентгеновских лучей в кристаллах с акустическим полем деформаций

Объект исследования: Полупроводниковые монокристаллы кремния. Цель исследования: Экспериментальное и теоретическое исследование влияния дефектов на рентгеноакустическое взаимодействие в кристаллах, изучение особенностей рассеивания рентгеновских лучей в трехкристальном интерферометре при возбуждении ультразвуковых деформаций и исследования влияния ультразвука на многоволновую дифракцию. Методы исследования и аппаратура: Одно- и двухкристальная дифрактометрия, рент геновская топография и интерферометрия, аналитические и числовые методы динамической теории рассеивания рентгеновских лучей. Дифрактометр ДРОН-3М, ЭВМ ЕС-1045. Теоретические результаты и новизна: Определены параметры динамического рассеивания для кристаллов с полосами роста и сверл-дефектами. Установлено, что максимальные изменения ротационной составной муаровых полос осущестляется при длинах волн ультразвука близких к экстинкционной. Выявлено смещение пиков Реннингера при действии ультразвука. Практические результаты и новизна: Разработанный метод определения амплитуды ультразвуковых колебаний в пластине анализатора рентгеновского интерферометра. Предложенный способ измерения компонент тензора деформаций с помощью многоволнового эффекта Реннингера.