Хруцкий В. К. Исследование электрофизических свойств структур кремний-диэлектрик с использованием автоматизированного комлпекса

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0493U002702

Облікова картка дисертації

0493U002702.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

30-11-1993

Спеціалізована вчена рада

Д 016.23.01

Анотація

Объект исследования: Структуры кремний-диэлектрик, методика автоматизированных измерений. Цель исследования: Повышение экспрессности и точности измерений, изучение влияния технологических операций на электрофизические параметры. Методы исследования и аппаратура: Фотомагнитный эффект, вольт-фарадные методики, автоматизированный комлпекс. Теоретические результаты и новизна: Определение области оптимальных режимов формирования и обработки слоев диоксида и нитрида кремния. Практические результаты и новизна: Разработана методика автоматизированного измерения спектральной зависимости э.д.с. фотомагнитного эффекта. Предмет и степень внедрения: Автоматизированная методика определения рекомбинационных параметров. Сфера (область) использования: Микроэлектронная и радиоэлектронная промышленность.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів