Кузьменко А. И. Структура и электрофизические свойства двухслойных пленок переходных d-маталлов

Объект исследования: Двухслойные пленки переходных d-металлов. Цель исследования: Изучение размерной зависимости сопротивления, термического коэффициента сопротивления и коэффициента продольной и поперечной тензочувствительности двухслойных пленок с разным чередованием слоев d-металлов. Методы исследования и аппаратура: Вакуумная конденсация, электронография, электронная микроскопия, масс-спектрометрия, метод электрического сопротивления. Теоретические результаты и новизна: Апробация теоретической модели электропроводности Диммиха для температурного коэффициента сопротивления для тензочувствительных монокристаллических пленок на поликристаллические образцы. Практические результаты и новизна: Установлена температурная зависимость коэффициента тензочувствительности на примере пленок хром на молибдене, что может быть использовано при разработке тонкопленочных элементов, тензодатчиков. Предмет и степень внедрения: В лабораторных условиях испытан тензодатчик. Сфера (область) использования: Изделия электронной промышленности.