Николаев В. В. Влияние структурных искажений на отражающую способность кристалла при динамической лауэ-дифракции рентгеновских лучей

Объект исследования: Закономерности динамической дифракции рентгеновских лучей на неидеальных кристаллах полупроводников. Цель исследования: Изучение закономерностей динамической дифракции, проверка отдельных формул и положений, разработка методов диагностики. Методы исследования и аппаратура: Одно- и двукристальная дифрактометрия, рентгеновская топография. Дифрактометры типов ДРОН, УРТ и др. Теоретические результаты и новизна: Выполнена проверка некоторых положений и формул динамической теории дифракции рентгеновских лучей. Практические результаты и новизна: Продемонстрированы эффекты увеличения чувствительности рефлексов, динамического распространения диффузного фона, исследование влияния декорирования на дислокации, созданы методы диагностики. Предмет и степень внедрения: Разработаны методики технологического контроля при производстве п/п приборов. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности.