Сирацкий В. М. Исследование факторов, влияющих на параметры радиационного дефектообразования в бездислокационном тигельном кремнии

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0493U003618

Облікова картка дисертації

0493U003618.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

25-11-1993

Спеціалізована вчена рада

К 016.04.01

Анотація

Объект исследования: Бездислокационный промышленный кремний. Цель исследования: Определение дополнительных факторов, которые могут существенно влиять на образование радиационных дефектов в кремниии. Методы исследования и аппаратура: Электрофизические измерения, релаксационная спектроскопия, оптическая спектроскопия. Теоретические результаты и новизна: Описано проявление дефектов с сильным электрон-колебательным взаимодействием при использовании различных методов исследования. Практические результаты и новизна: Установлено, что термообработка при 1050 град.C существенно влияет на образование основных радиационных дефектов в промышленном кремнии. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, микроэлектроника, радиационные технологии изготовления полупроводниковых приборов.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів