Клименко В. Н. Гомогенизация, связанная с миграцией границ в тонкопленочной паре палладий-серебро

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0493U004237

Облікова картка дисертації

0493U004237.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

20-05-1993

Спеціалізована вчена рада

К 068.39.02

Анотація

Объект исследования: Тонкопленочная система палладий/серебро. Цель исследования: Определение особенностей гомогенизации в разных по структуре и условиям испытания пленкам палладий/серебро. Методы исследования и аппаратура: Электронная микроскопия, электронография, прецизионное измерение электросопртивления. Теоретические результаты и новизна: Показано, что в пленках палладий/серебро зернистая структура и структура межфазной поверхности влияют на процесс гомогенизации при низких (до 500 град.C) температурах. Практические результаты и новизна: Впервые показано, что изменяя размер зерна, структуру межфазной границы и температуру отжига можно регулировать процесс гомогенизации в пленочных системах. Сфера (область) использования: Пассивные элементы микроэлектроники, многослойные пленочные системы.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів

0521U102118

Корнющенко Ганна Сергіївна

Структуроутворення і фізичні властивості близькорівноважних металевих, оксидних та багатокомпонентних конденсатів з нанорозмірними елементами