Робур Е. Г. Влияние постоянного электрического тока и электростатического поля на динамическое поведение дислокаций в кристаллах кремния

Объект исследования: Монокристаллы кремния. Цель исследования: Экспериментальное изучение изменений динамического поведения дислокаций под действием электрического тока и электростатического поля. Методы исследования и аппаратура: Химическое селективное травление, ИК-спектроскопия поглощения, вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС). Теоретические результаты и новизна: Модифицировано формулы для времени задержки и скорости дислокаций с учетом влияния электрического тока. Практические результаты и новизна: Развито теорию подвижности дислокаций при электронном возбуждении кристаллов кремния, оптимизация промышленных технологий. Предмет и степень внедрения: Развитие теории пластичности, оптимизация технологий. Эффективность внедрения: Повышение эффективности научных исследований дислокационной структуры твердых тел. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, технологии.