Яшник В. И. Дефектообразование в кремнии, легированном элементами IV группы

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0495U000093

Облікова картка дисертації

0495U000093.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

29-12-1992

Спеціалізована вчена рада

К 016.04.01

Анотація

Объект исследования: Монокристаллический кремний, легированный изовалентными примесями. Цель исследования: Исследование влияния изовалентных примесей на термическое радиационное дефектообразование в кремнии. Методы исследования и аппаратура: Инфракрасная Фурье спектроскопия, электронный парамагнитный резонанс, измерения эффекта Холла. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель, которая объясняет процесс снижения эффективности образования термодоноров в кремнии, легированном германием. Практические результаты и новизна: Выяснено, что независимо от температуры облучения легирование кремния гкрманием приводит к снижению эффективности введения радиационных дефектов. Предмет и степень внедрения: Повышение термической и радиационной стойкости кремния. Сфера (область) использования: Физика полупроводников, микроэлектроника.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів