Матвийкив О. М. Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС

Объект исследования: Технологический процесс газофазного осаждения пленок на неплоские поверхности подложек сложной геометрической формы. Цель исследования: Разработка эффективных моделей процесса газофазного осаждения и методов их реализации в программно-методических комплексах. Методы исследования и аппаратура: Системного анализа, математического моделирования, матем. физики, вычислительной математики; пиролитический реактор. Теоретические результаты и новизна: Методика однородного роста, модели критических параметров осаждения, модель тепломасопереноса, модель осаждения. Практические результаты и новизна: Экспериментальный анализ параметров слоев из МОС, программно-методический комплекс, технологический модуль. Предмет и степень внедрения: Методика, программный комплекс - в процессы проектирования РЭС. Эффективность внедрения: Ожидаемый суммарный экономический эффект составляет свыше 50 тыс. руб. /в ценах 1990 г./. Сфера (область) использования: В организациях, проектирующих и изготавливающихРЭС.