Кравченко Ю. С. Исследование физико-химических процессов в приповерхностной неравновесной плазме четыреххлористого углерода

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0495U001106

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.18 - Фізика і хімія поверхні

19-10-1995

Спеціалізована вчена рада

Д 01.73.01

Анотація

Объект исследования: Неравновесная плазма четыреххлористого углерода. Цель исследования: Определение механизмов и кинетики физико-химических процессов. Методы исследования и аппаратура: Эмиссионная спектроскопия, масс-спектроскопия, зондовая диагностика, математическое моделирование. Теоретические результаты и новизна: Определен состав, концентрация и энергия химически активных частиц плазмы, механизмы и кинетика их образования. Практические результаты и новизна: Результаты являются теоертической основой для разработки и оптимизации технологии обработки поверхности. Сфера (область) использования: Плазмохимическая обработка поверхности.

Схожі дисертації