Селезнева Р. В. Моделирование задач управления многостадийными динамическими технологическими процессами

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0495U002440

Здобувач

Спеціальність

  • 05.13.16 -

29-10-1994

Спеціалізована вчена рада

Д 068.34.01

Анотація

Объект исследования: Процесс полирующего травления кремния в парогазовой смеси хлористого волорода. Цель исследования: Разработка методического, математического, алгоритмического и программного обеспечения для моделирования. Методы исследования и аппаратура: Методы вычислительной математики и теории автоматического управления, ПЭВМ. Теоретические результаты и новизна: Разработка новых методик моделирования и математических моделей. Практические результаты и новизна: Разработка комплекса программ и инженерных методик. Предмет и степень внедрения: Инженерные методики. Эффективность внедрения: 22,1 тыс.руб. на 01.01.91. Сфера (область) использования: Электронная промышленность.

Схожі дисертації