Теслюк В. Н. Моделирование и анализ процессов формирования технологических слоев ИС в приборно-технологических САПР

Объект исследования: Технологический процесс изготовления интегральных схем. Цель исследования: Разработка эффективных алгоритмов и моделей анализа технологических процессов и ПМК для автоматизированного проектирования. Методы исследования и аппаратура: Системный анализ, математическое моделирование математической физики, вычислительная техника и прикладное программирование. Теоретические результаты и новизна: Модели технологических операций и рельефа п/п структуры, входной язык, оперативная база данных; алгоритм моделирвоания технологических маршрутов. Практические результаты и новизна: Программно-методический комплекс, библиотека математических моделей и экспериментальные исследования процессов в оборудовании. Предмет и степень внедрения: Методика, программный комплекс - впроектировании ИС. Эффективность внедрения: Ожидаемый суммарный экологический эффект составляет свыше 41 тыс. крб (в ценах 1990 г.). Сфера (область) использования: Организации, котрые проектируют и изготавливают ИС.