Вовк А. Я. Структура и электрофизические свойства ревктивно напыленных тонких пленок хрома и его сплавов

Объект исследования: Тонкие керметные пленки, осажденные реактивным распылением мишеней их хрома и его сплавов. Цель исследования: Исследование особенностей формирования структуры и ее влияние на электрофизические свойства тонких пленок, полученных реактивным распылением хрома. Методы исследования и аппаратура: Рентгеноструктурный анализ, просвечивающая электронная микроскопия, Оже-электронная спектроскопия, электросопротивление. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель для описания электрофизических свойств гетерогенных керметных пленоков в неоднородное состояние. Практические результаты и новизна: Проведенные исследования позволили определить основные закономерности процессов формирования структуры и электрофизических свойств тонких высокоомных керметных пленок, полученных реактивным распылением мкталлических мишеней из хрома иего сплавов. Предмет и степень внедрения: Публикации в отечественных и зарубежных журналах, доклады на конференциях. Эффективность внедрения: Используется при создании новых материалов и технологий электроники. Сфера (область) использования: Физика тонких пленок, мкталлофизика, материаловедение.