Кабалдин А. Н. Исследование микронеоднородностей распределения примесей кислорода и кислородсодержпщих дефектов в монокристаллическом кремнии

Объект исследования: Микронеоднородности распределения примеси кислорода и кислородсодержащих дефектов в монокристаллическом кремнии. Цель исследования: Определение параметров микроскоплений кислорода и кислородсодержащих дефектов, физическое обоснование новых методов их контроля. Методы исследования и аппаратура: Оптические, фотоэлектрические, электрические и магнитные. Теоретические результаты и новизна: Разработана теоретическая модель влияния асферических микроскоплений и их распределения на процессы переноса заряда. Практические результаты и новизна: Определены параметры микроскоплений кислорода и кислородсодержащих дефектов, обнаружено два типа анизотропии холловской подвижности, эффект магнитной упорядоченности А-центров. Предмет и степень внедрения: Новые методы диагностирования монокристаллического кремния. Эффективность внедрения: Однородный, термостабильный монокристаллический кремний, миниатюризация элементов твердотельной микроэлектроники. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, физическая электроника.