Черноус А. Н. Размерные явления в электропроводности и тензочувствительности двухслойных пленок

Объект исследования: Двохслойные пленки на основе хрома, кобальта, никеля и ниобия. Цель исследования: Изучение размерных и температурных эфектов в электропроводности и тензочувствительности двохшаровых пленок. Методы исследования и аппаратура: Метод электросопротивления, электронной микроскопии, вторичной ионной масс-спектрометрии, рентгеноструктурного анализа. Теоретические результаты и новизна: Получены новые результаты по электропроводности и тензочувствительности двохслойных пленок, апробированы известные теории. Практические результаты и новизна: Результаты можно использовать при разработке более эффективных тензодатчиков. Предмет и степень внедрения: Тонкопленочные тензодатчики, лабораторные образцы. Эффективность внедрения: Сравнено величину коэффициентов тензочувствительности тензодатчиков на основе одно- и двохслойных пленок, исследовано ресур работы. Сфера (область) использования: Измерение внутренних механических напряжений в вращающихся частях.