Тищенко Г. Д. Структура, свойства и стабильность металлических и металлосодержащих слоев в интегральных мультисенсорах

Объект исследования: Металлические и металлосодержащие слои на подложках моносталического кремния. Цель исследования: Влияние альфа-облучения на структуру и физические свойства металлические и металлосодержащих слоев и разработка новой технологии производства чувствительных элементов сенсоров. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные и теоретические. Оже-спектроскопия, рентгено-структурный анализ, растровая электронная микроскопия и ионные микрозонды. Теоретические результаты и новизна: Установлены механизмы образования кластеров, выяснена природа ад-центра кислорода, установлена связь селективности реагирования со структурами поверхностей. Практические результаты и новизна: Получены новые матемриалы для серии электронных приборов нового типа. Предмет и степень внедрения: Изготовлены экспериментальные образцы интегральных мультисенсоров. Эффективность внедрения: Результаты исследований позволили подготовить к внедрению новый класс приборов. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, машиностроение.