Максимович Л. П. Фазовый состав, структура и свойства моно- и биметаллических тонкопленочных слоев тугоплавких металлов на кремнии

Объект исследования: Тонкопленочные системы "металл-кремний". Цель исследования: Установить закономерности формирования фазового состава в тонкопленочных системах "металл-кремний". Методы исследования и аппаратура: Рентгенографический, резистометрический, электронографический анализ, ВИМС; УРС-2.0, Фотон-3-100. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности формирования фазового состава, структура и свойства слоев тугоплавких металлов на кремнии. Практические результаты и новизна: Определены технологические режимы получения дисилицидов Ti, Та; диффузионно-барьерных слоев. Предмет и степень внедрения: Внедрены технологические режимы получения дисилицидов Ti, Та. Эффективность внедрения: Будет рассчитана после начала серийного выпуска продукции. Повышение степени интеграции и надежности микроприборов. Сфера (область) использования: Микроэлектроника.