Красуля С. М. Влияние структурных искажений в реальных кристаллах кремния на параметры динамической Брэг- и Лауэ-дифракции рентгеновских лучей

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0496U001143

Облікова картка дисертації

0496U001143.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

28-06-1996

Спеціалізована вчена рада

К 50.07.02

Анотація

Объект исследования: Монокристаллический кремний. Цель исследования: Исследование процессов рассеяния рентгеновского излучения в кристаллах с произвольной дефектной структурой. Методы исследования и аппаратура: рентгеновская дифрактометрия. Теоретические результаты и новизна: Обнаружение немонотонности характера зависимости относительно прироста ИОС от порядка рефлекса в геометрии Брэгга. Практические результаты и новизна: Разработка однокристального безэталонного методаструктурной диагностики полупроводниковых монокристаллов. Предмет и степень внедрения: Публикации в научных изданиях и материалах конференций. Эффективность внедрения: Метод позволяет повысить экспресность и достоверность получаемой на ОКС информации. Сфера (область) использования: Лаборатории предприятий полупроводниковой промышленности.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів