Волоконская А. А. Моделирование процессов нанесения тонкопленочных покрытий ионно-плазменными методами

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0496U002007

Облікова картка дисертації

0496U002007.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

06-12-1995

Спеціалізована вчена рада

К 06.06.03

Анотація

Объект исследования: Тонкие пленки, получаемые ионно-плазменными методами. Цель исследования: Разработка методов расчета стехиометрического состава пленки. Методы исследования и аппаратура: Численное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Предложенные модели позволяют оптимизировать входные параметры ионно-плазменных установок. Практические результаты и новизна: Создание программы позволяют расчитывать концентрационный профиль подложки и пленки для систем С-Si, C-Ni, C-Au, Ag-Cu, Ag-Mo, Ti-Fe. Предмет и степень внедрения: Результаты внедряются при синтезе тонких пленок ионно-плазменными методами. Эффективность внедрения: Разработанные методы позволяют получать пленки с необходимыми свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів