Пидлипный Ю. В. Разработка моделей, методов и алгоритмов диагностики технолгических процессов производства ИС

Объект исследования: Технологические процессы производства ИС. Цель исследования: Разработка статистических моделей, методов и алгоритмов диагностики технологических процессов прооизводсвта ИС. Методы исследования и аппаратура: Системного анализа, физики полупроводников, математический аппарат статистики, моделирования. Теоретические результаты и новизна: Методика диагностики технологического процесса производства ИС, модели и алгоритмы. Практические результаты и новизна: Программно-методический комплекс (ПМК). Предмет и степень внедрения: Методика, ПМК - в процесс производства ИС. Эффективность внедрения: Уровень выхода годных изделия L 1488 повышено на 2,5%. Сфера (область) использования: Предприятия, которые изготавливают микроэлектронные устройства.