Однодворец Л. В. Кинетические явления в многослойных пленочных конденсатах на основе хрома, кобальта, никеля и германия

Объект исследования: Ммногослойные пленочные структуры на основе хрома, кобальта, никеля и германия. Цель исследования: Изучение размерной и температурной зависимости сопротивления, ТКО, коэффициента стабильности и коэффициента тензочувствительности в многослойных пленках. Методы исследования и аппаратура: Методы термического и электронно-лучевого испарения /ВУП-5М и уст-ка с магниторазрядным насосом/. Теоретические результаты и новизна: Разработан массоспектрометр, электронно-микроскоп. метод прогноза на основе микроскоп-ой электронно-графический методы. Практические результаты и новизна: Впервые получены экспериментальные результатыразмерной и температурной зависимости ТКО, размерной-коэффициента продольной тензочувствительности многослойных структур общего и периодического типа; исследованы особености тензоэффекта в пленках германия. Предмет и степень внедрения: Для разработки терморезисторов и тензодатчиков. Сфера (область) использования: Физика.