Статов В. А. Исследование физики межфазных взаимодействий на границе раздела тугоплавкий металл - арсенид галлия

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0497U000274

Облікова картка дисертації

0497U000274.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

17-01-1997

Спеціалізована вчена рада

К 50.07.02

Анотація

Объект исследования: Контакты тугоплавкий металл (Сr, W, Мо) - GaAs. Цель исследования: Изучение влияния на параметры контактов термо- и лучевых обработок - y-квантов и сверхвысокочастотного электромагнитного поля. Методы исследования и аппаратура: Измерение электрофизических параметров; Оже-электронная спектроскопия, рентгенодифракционные методы. Теоретические результаты и новизна: Исследовано и теоретически обосновано явление восходящей радиационно-стимулированной диффузии в вышеуказанных контактах. Практические результаты и новизна: Установлены режимы гамма-обработки, которые увеличивают выход годных приборов. Предмет и степень внедрения: Результаты могут быть использованы в технологических рекомендациях. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектронной промышленности.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів