Митус В. А. Исследование оптических свойств тонкопленочных структур на основе элементов IV группы эллипсометрическими методами

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0497U001435

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

20-06-1997

Спеціалізована вчена рада

К 50.07.02

Анотація

Объект исследования: Углеродные пленки и пленки SiGe. Цель исследования: Экспериментальное исследование эллипсометрическими методами оптических свойств тонкопленочных структур на основе элементов IV группы и изучение механизмов модификации их параметров при изменении условий нанесения и в зависимости от режимов термических и ионно-имплантционных обработок. Методы исследования и аппаратура: эллипсометрические методы. Теоретические результаты и новизна: Исследованы и теоретически обоснованы радиационно-стимулированные процессы в углеродных пленках и пленках SiGe. Практические результаты и новизна: Исследовано влияние условий осаждения и режимов дальнейших обработок на оптические и структурные свойства углеродных пленок и процессы релаксации внутренних механических напряжений в пленках SiGe. Предмет и степень внедрения: На стадии публикаций. Эффективность внедрения:. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности.

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів