Кирица В. Л. Роль процессов диффузии и междефектного взаимодействия в формировании свойств кристаллов кремния

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0497U001613

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

19-09-1997

Спеціалізована вчена рада

К 50.07.02

Анотація

Объект исследования: Монокристаллический кремний. Цель исследования: Исследование междефектного взаимодействия в кристаллах кремния. Методы исследования и аппаратура: Эффект Холла, ЕПР, фотолюминесценция. Теоретические результаты и новизна: Изучена роль примесей углерода и германия в процессах дефектообразования в кислородсодержащем кремнии. Практические результаты и новизна: Показаны новые возможности управления свойствами кристаллов кремния при помощи легирования не традиционными примесями германия и углерода. Предмет и степень внедрения: Публикации в научных изданиях и материалах конференций. Эффективность внедрения: Результаты диссертации позволяют разработку новых технологических операций. Сфера (область) использования: Изучение и производство кристаллического кремния.

Схожі дисертації

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів

0521U102118

Корнющенко Ганна Сергіївна

Структуроутворення і фізичні властивості близькорівноважних металевих, оксидних та багатокомпонентних конденсатів з нанорозмірними елементами