Слепцов С. Н. Кинетика низкотемпературного формирования металлических покрытий при осаждении собственных атомно-ионных потоков

Объект исследования: Металлические покрытия ниобия и хрома, осажденные методом атомно-ионного распыления. Цель исследования: Экспериментальные исследования особенностей образования структуры металлических покрытий в зависимости от энергетических покрытий в зависимости от энергетических параметров ионного потока и построение теоретической модели роста конденсатов при осаждении атомно-ионных потоков. Методы исследования и аппаратура: Рентгеноструктурный анализ, электронная микроскопия, электронно-позитронная аннигиляция, метод математического моделирования рационального повреждения металлов при ионном облучении. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель радиационно-диффузионного уплотнения конденсатов в условиях непрерывного ионного облучения; получены аналитические выражения, устанавливающие зависимость плотности пленок от энергетических параметров ионного потока. Практические результаты и новизна: Разработаны научные основы получения пленок с наперед заданной плотностью и предложен метод определения оптимальных энегетических переметров ионного потока. Предмет и степень внедрения: Оптимизация технологии получения пленок ионно-плазменными методами. Сфера (область) использования: Атомная энегетика, микроэлектроника, машиностроение.