Ушаков А. В. Динамика и кинетика электронов в ионно-пучковых системах холловского типа

Объект исследования: Ионно-пучковые системы холловского типа. Цель исследования: Экспериментальное исследование динамики и кинетики электронов в промежуточной области между анодным слоем и ионно-пучковой плазмой при низком давлении газа и развитие теоретической модели анодного слоя. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные исследования с применением зондовых методик диагностики плазмы, физическое и математическое моделирование. Теоретические результаты и новизна: Разработана двумерная теоретическая модель промежуточной области плазма-анодный слой на основе локального ионизационного равновесия электронов вдоль магнитного поля. Получены аналитические выражения и проведены численные расчеты распределений потенциала плазмы, температуры и плотности электронов в прианодной области ионно-пучковой системы холловск... Практические результаты и новизна: Впервые предложен кинетический механизм интенсивного ухода электронов на катоды ионно-пучковой системы холловского типа в результате формирования локально-равновесной функции распределения, близкой к максвелловской. Аналитические выражения распределений потенциала плазмы, температуры и плотности электронов в прианодной области позволяют создать само... Предмет и степень внедрения: Ионно-пучковая система. Эффективность внедрения: 12 публикаций, курс лабораторных работ. Сфера (область) использования: Ионно-плазменные технологии, микроэлектроника. НФТЦ МО и НАНУ, ХГУ, ХАИ, ННЦ ХФТИ, ИЯИ НАНУ.