Романюк А. Б. Разработка методов и моделей численного физико-топологического анализа элементов интегральных схем

Объект исследования: Методы и модели физико-топологического анализа элементов интегральных схем. Цель исследования: Разработка методов и моделей физико-топологического анализа элементов ИС и их реализация в виде программно-методического комплекса физико-топологического моделирования в составе интегрированной САПР физико-технологического анализа. Методы исследования и аппаратура: Аппарат математической физики и вычислительной математики, математического моделирования, методы вычислительного эксперимента, методы прикладного программирования. Теоретические результаты и новизна: Разработан алгоритм моделирования компонентов ИС, методы теоретическо-экспериментальной идентификации электрофизических параметров. Практические результаты и новизна: Разработан программно-методический комплекс физико-топологического моделирования элементов ИС. Предмет и степень внедрения: Программно-методический комплекс передан СКБ "Оризон" г.Ивано-Франковск. Эффективность внедрения: Предполагается экономический эффект за счет сокращения времени и повышения качества проектирования ИС. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектроники, научно-исследовательские институты, учебные заведения.