Хондожко С. И. Защитные покрытия на основе алмазоподобных пленок для обеспечения стойкости деталей оптики и электроники к воздействию внешней среды

Объект исследования: Плазмохимическое осаждение пленок аморфного гидрогенизированного углерода, их механические и защитные свойства. Цель исследования: Создание защитного покрытия для защиты рабочих поверхностей деталей оптики и электроники от действия агрессивных факторов. Методы исследования и аппаратура: Наноиндентирование, оптическая спектрометрия, атомная силовая микроскопия, растровая электронная и оптическая микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности влияния напряжения автосмешения и состава рабочей газовой смеси на структурообразование, механические и защитные свойства а-С:Н пленок. Практические результаты и новизна: Создана технология осаждения из ВЧ-плазмы алмазоподобных покрытий, характеризующихся высокой твердостью, адгезионной прочностью, износостойкостью и химической инертностью. Предмет и степень внедрения: Изготовлено химически стойкое барьерное покрытие нагревающего слоя термоструйного картриджа. Эффективность внедрения: Ресурс нагревающего элемента струйного картриджа увеличивается в 10 раз. Сфера (область) использования: Микроэлектроника и приборостроение.