Верьовкін Г. Г. Оптичне розсіювання на частково впорядкованих об"єктах різноманітної вимірності

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0499U000540

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.05 - Оптика, лазерна фізика

26-02-1999

Спеціалізована вчена рада

Д41.051.01

Анотація

Дисертація присвячена кількісному експериментальному дослідженню процесів розсіювання і дифракції когерентного і некогерентного випромінювання на об'єктах різноманітної розмірності з метою визначення їхнього просторового положення, геометричних характеристик і дефектності поверхонь, що розсіюють. На основі отриманих результатів розроблені оптичні методи контролю геометричних параметрів волочильного інструмента, просторового положення квазіодномірних об'єктів, якості фотошаблонів і рівня дефектності приповерхньої області напівпровідникових матеріалів. розроблений оригінальний багатоканальний фотодошкульний датчик для лазерної дифрактометрії.

Схожі дисертації