Готра О. З. Сенсори температури на основі інтегральної електроніки та оптики

Об'єкт дослідження: сенсори температури на основі елементів та пристроїв інтегральної електроніки та оптики: однокристальні напівпровідникові ІС, рідкокристалічні та волоконно-оптичні. Мета досліджень: розвиток теорії та практики обробки вимірюваного сигналу в: однокристальних термосенсорних ІС, рідких кристалах, волоконно-оптичних елементах. Методи дослідження: лазерні, еліпсометричний методи дослідження параметрів термочутливих структур, малокутове рентгенівське розсіювання, класичні методи дослідження в мікроелектронній технології, оптиці, електрооптиці, методи ППП"Spice", методи розрахунку нерівноважної статистики електронного газу в кристалах. Теоретичні та практичні результати, новітність: виявлено та пояснено механізм від'ємної диференційної провідності в первинних перетворювачах термосенсорних ІС, що забезпечує гранично високий коефіцієнт стабілізації вихідного сигналу при зміні напруги живлення; показано необхідність введення в модель Гумеля-Пуна температурної залежності ВАХ p-n-переходів транзисторних структур допоміжного коефіцієнта для коректного опису температурної залежності ВАХ прямозміщених p-n-переходів при зміні коефіцієнта неідеальності p-n-переходу; запропоновані принципи побудови термосенсорних ІС для вузького температурного діапазону вимірювання: з експоненціальною, квазілінійною та лінійною характеристиками перетворення. Розвинута теорія кінетичних властивостей кристалів для термосенсорів. Розроблено ряд терморезистивних перетворювачів на основі тонкоплівкових структур. Досліджено вплив поверхні, конструктивних параметрів на характеристики рідкокристалічних сенсорів. Виявлені закономірності модифікації рідкокристалічних матеріалів для термометрії. Теоретично та експериментально підтверджена можливість створення нового класу мікроелектронних сенсорів температури на основі систем скловолокно - рідкий кристал, оптична призма - рідкий кристал; світловодного сенсора з телеметричним живленням, фазових переходів в інтервалі блакитної фази для контролю фіксованих температур. Сфера використання: розробка та застосування сенсорів температури на основі інтегральної електроніки та оптики.