Галуза О. А. Аналіз, синтез та діагностика складних радіаційно-індукованих та багатошарових систем на поверхні твердих тіл

Об'єкт: складні радіаційно-індуковані утворення та багатошарові системи на поверхні твердих тіл. Мета: створення комплексного неруйнівного підходу до аналізу, синтезу та діагностики складних, зокрема багатошарових тонкоплівкових структур на поверхні твердих тіл, вивчення впливу радіаційних факторів на фізичні властивості поверхневих шарів твердих тіл. Методи: еліпсометрія, рефлектометрія, інтерферометрія, оптична мікроскопія, Оже-аналіз, мас-спектроскопія й електронна мікроскопія, оптимізація та математична статистика. Результати: вперше комплекс кількісних оптичних методик застосовано для систематичного дослідження впливу радіаційних факторів на структуру й склад поверхні металів і сплавів. Показано, що еліпсометрія дає можливість досліджувати процес розвитку дефектної структури на поверхні опромінених металів і сплавів на початкових стадіях, коли інші неруйнівні методики ще не дають змоги цього робити. Показано, що у випадку радіаційної природи пошкоджень поверхневого шару традиційні моделі обробки еліпсометричних даних, засновані на однорідних шарах, можуть давати фізично некоректні результати. Уперше для моделювання поверхні металів і сплавів після радіаційної обробки іонами дейтерію на підставі еліпсометричних даних використано моделі неоднорідних шарів. Показано, що тільки в цьому випадку вдається побудувати фізично несуперечливу картину розвитку дефектної структури. Галузь використання: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок, радіаційна фізика